DektakXT®探針式輪廓儀采用革命性的臺(tái)式設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn) 4? （0.4nm）的的重復(fù)性，掃描速度可提高 40%。探針式輪廓儀性能的這一重大里程碑是 Dektak® 五十多年創(chuàng)新和地位的。DektakXT 結(jié)合了一的技術(shù)和設(shè)計(jì)，可提供的性能、易用性以及價(jià)值，實(shí)現(xiàn)從研發(fā)到質(zhì)量控制的更好過(guò)程監(jiān)控。DektakXT 的技術(shù)突破為微電子、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、高亮度 LED、醫(yī)療和材料科學(xué)行業(yè)的關(guān)鍵尺寸的納米級(jí)表面測(cè)量提供支持。

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更新時(shí)間：2025-10-29
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布魯克bruker輪廓儀 利用*的直接驅(qū)動(dòng)掃描樣品臺(tái)，將測(cè)量時(shí)間加快 40%，同時(shí)保持行業(yè)的性能。Vision64 是布魯克的 64 位并行處理操作和分析軟件，能夠更快地加載 3D 形貌文件，并更快地應(yīng)用篩選器和多區(qū)域數(shù)據(jù)庫(kù)分析。

單拱門結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使 布魯克bruker輪廓儀 更堅(jiān)固，從而將環(huán)境噪音的影響降至低。DektakXT 升級(jí)的"智能電子設(shè)備"可降低溫度變化的影響，并采用現(xiàn)代處理器，大限度地減少噪聲水平，使其成為能夠測(cè)量<10nm 臺(tái)階高度的更強(qiáng)大的系統(tǒng)。

布魯克的 Vision64 軟件通過(guò)提供直觀、簡(jiǎn)化的用戶可視化界面，加入到 DektakXT 的創(chuàng)新設(shè)計(jì)。智能架構(gòu)和可自定義自動(dòng)化功能相結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)快速、全面的數(shù)據(jù)收集和分析。無(wú)論您是使用分析腳本對(duì)單個(gè)掃描結(jié)果進(jìn)行分析，還是應(yīng)用自定義篩選器設(shè)置和計(jì)算，DektakXT 的數(shù)據(jù)分析器都能顯示當(dāng)前分析結(jié)果，同時(shí)顯示其他可能的分析工具。

DektakXT 的自對(duì)齊探針組件允許用戶快速輕松地更換不同探針，同時(shí)消除換針中的任何潛在風(fēng)險(xiǎn)。布魯克提供廣泛的探針尺寸和形狀，幾乎滿足任何應(yīng)用需求。

DektakXT 能夠快速輕松地設(shè)置和運(yùn)行自動(dòng)化的多樣品測(cè)量模式，以可重復(fù)性驗(yàn)證整個(gè)晶圓表面薄膜的精確厚度。這種有效的監(jiān)控可以通過(guò)提高測(cè)試通量來(lái)節(jié)省寶貴的時(shí)間和金錢。

布魯克Bruker Dektak XT探針式輪廓儀 (圖1)